Детальная информация

Описание изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. — М., 1994-____. — (Патенты России).
Способ устранения дефектов фотошаблонов / Маликов И. В., Горячева Т. В., Кислов Н. А., Дерновский В. И.; заявитель: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР — 1 файл: 124 Кб: ил. — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: ИПС MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/1365036.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1365036.pdf>.

Дата создания записи: 16.07.2024

Тематика: Машиностроение — Микроэлектроника

Коллекции: Патенты России

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Изобретение относится к области микроэлектроники. Целью изобретения является повышение качества востановленных фотошаблонов.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть СОУНБ Все Прочитать
Интернет Читатели Прочитать

Статистика использования

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика