Изобретение откосится к способам определениясорта атомов химических элементов находящихся на поверхности твердых тел, методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий (СОРИНЭ) и может быть использовано в полупроводниковой технике, эмиссионной электронике, металловедении, ядерной физике. Цель изобретения повышение скорости проведения анализа и достоверности получаемой информации способа анализа поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий за счет регистрации ионов различных элементов, получаемых в ионном источнике одновременно.