SOUNB
Electronic Library

     

Details

Способ анализа поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий / Амелина Е. А., Аристархова А. А., Волков С. С. [и др.] // Описания изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. – М., 2003. – 1986, № 1. — (Патенты России). — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: ИПС MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1205208.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1205208.pdf>.

Record create date: 8/19/2025

Subject: Полупроводниковая техника — Метод спектроскопии — Эмиссионная электроника — Металловедение — Ядерная физика

Collections: Патенты России

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Изобретение откосится к способам определениясорта атомов химических элементов находящихся на поверхности твердых тел, методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий (СОРИНЭ) и может быть использовано в полупроводниковой технике, эмиссионной электронике, металловедении, ядерной физике. Цель изобретения повышение скорости проведения анализа и достоверности получаемой информации способа анализа поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий за счет регистрации ионов различных элементов, получаемых в ионном источнике одновременно.

Document access rights

Network User group Action
SOUNB Local Network All Read
Internet Readers Read

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics