| Карточка | Таблица | RUSMARC | |
|
|
Способ получения слоя стекла / Духанова Т. Г., Васильев В. Ю., Борисова В. А. // Описания изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. – М., 2003. – 1986, № 1 — 1 файл: 149 Кб: ил. — (Патенты России). — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: ИПС MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1203046.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1203046.pdf>.Дата создания записи: 13.03.2023 Тематика: Химический состав стекла — Осаждение диэлектрического слоя — Пессовьвдувный способ Коллекции: Патенты России Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
Изобретение относится к химическому осаждению диэлектрических слоев из газовой фазы на подложку и может быть использовано для получения изолирующих и пассивирующих слоев окисла и силикатных стекол в производстве полупроводниковых приборов и (интегральных микросхем. Цель изобретения - уменьшение разброса толщины осаждаемых слоев и улучшение воспроизводимости.
Права на использование объекта хранения
| Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Локальная сеть СОУНБ | Все |
|
||||
| Интернет | Читатели |
|
Статистика использования
|
|
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |