| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Способ получения слоя стекла / Духанова Т. Г., Васильев В. Ю., Борисова В. А. // Описания изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. – М., 2003. – 1986, № 1 — 1 файл: 149 Кб: ил. — (Патенты России). — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: ИПС MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1203046.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1203046.pdf>.Record create date: 3/13/2023 Subject: Химический состав стекла — Осаждение диэлектрического слоя — Пессовьвдувный способ Collections: Патенты России Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Изобретение относится к химическому осаждению диэлектрических слоев из газовой фазы на подложку и может быть использовано для получения изолирующих и пассивирующих слоев окисла и силикатных стекол в производстве полупроводниковых приборов и (интегральных микросхем. Цель изобретения - уменьшение разброса толщины осаждаемых слоев и улучшение воспроизводимости.
Document access rights
| Network | User group | Action | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| SOUNB Local Network | All |
|
||||
| Internet | Readers |
|
Usage statistics
|
|
Access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |