| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Способ очистки полупроводниковых пластин / Гребельская Ж. Я., Суровый С. П., Зубарев В. С.; заявитель: Ленинградское производственное объединение «Электронприбор» // Описания изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. – М., 2003. – 1987, № 1 — файл: 84 Кб: ил. — (Патенты России). — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1284612.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1284612.pdf>.Record create date: 9/23/2024 Subject: Чистка вообще — Полупроводники — Чистка пластин Collections: Патенты России Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Изобретение относится к способу очистки полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение качества очистки.
Document access rights
| Network | User group | Action | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| SOUNB Local Network | All |
|
||||
| Internet | Readers |
|
Usage statistics
|
|
Access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |