SOUNB
Electronic Library

     

Details

Инструмент для гидродинамической обработки плоских деталей / Жалнин В. П., Нестеров Ю. И., Скворцов К. Ф. [и др.]; заявитель: Научно-исследовательский институт "Сапфир", МВТУ им. Н. Э. Баумана // Описания изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. – М., 2003. – 1986, № 1. — (Патенты России). — Загл. с титул. экрана. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1206067.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1206067.pdf>.

Record create date: 3/2/2026

Subject: Финишная прецизионная обработка — Обработка плоских деталей — Полупроводниковые монокристаллы — Обработка полупроводниковых пластин

Collections: Патенты России

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Изобретение относится к финишной прецизионной обработке плоских деталей, например, из полупроводниковых монокристаллов и может найти широкое применение при обработке полупроводниковых пластин большого диаметра для интегральных микросхем. Целью изобретения является повышение производительности и качества обработки путем увеличения скорости течения абразивной суспелзии в зазоре между инструментом и обрабатываемой деталью.

Document access rights

Network User group Action
SOUNB Local Network All Read
Internet Readers Read

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics