Изобретение откосится к измерению и контролю параметров злектронно-оптических систем (ЭОС) и может быть использовано, например, для измерения калибровки параметров ЭОС установок электронолитографии наборного типа с электронным пучком прямоугольного сечения изменяемых размеров. Цель изобретения повышение точности и сокращение времени измерении при единовременном упрощении изготовления мишени с измерительными элементами за счет возможности использования более протяженных датчиков и повышения отношения сигнал/шум, а также значительного уменьшения числа измеряемых параметров и снижения требований к точности геометрических датчиков.