SOUNB
Electronic Library

Details

	Card	Table	RUSMARC

Описание изобретений (ретрофонд) / Комитет по патентам и товарным знакам России. — М., 1994-____. — (Патенты России).
Позитивный фоторезист / Архипова А. С., Баранова Е. М., Егорова Л. А. [и др.] — 1 файл: 249 Кб: ил. — Загл. с титул. экрана. — Поисковая система: ИПС MIMOSA GTI. — Систем. требования: Acrobat Reader. — Режим доступа: ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1068879.pdf. — <URL:ftp://smolensklib.ru/bd/patent_ru/pt1068879.pdf>.

Record create date: 8/20/2024

Subject: Электроника — Фотографические процессы — Светочувствительные материалы

Collections: Патенты России

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Действие «Прочитать» доступно только читателям библиотеки. Для авторизации используйте идентификатор и пароль читателя, полученные при записи в ГБУК "Смоленская областная универсальная научная библиотека имени А. Т. Твардовского". Для удалённой регистрации, необходимо на адрес smolreg2021@mail.ru отправить письмо со следующей информацией: ФИО, год рождения, образование, род деятельности, город проживания.

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Изобретенйе относится к электронной технике, в частности к позитивным фоторезистам, применяемым в производстве изделий микроэлектроники,и может использоваться при изготовлении хромированных и железоокисных фотошаблонов. Цель изобретения - повышение разрешающей способности, снижение микронеровности и уменьшение дефектности получаемых фоторезистивных пленок.

Document access rights

	Network		User group		Action
	SOUNB Local Network		All
	Internet		Readers

Usage statistics

Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics